Massenströmungssensor CMS

Gasthermischer MassendurchsatzMEMS

Der CMS ist eine äußerst zuverlässige und vielseitige Serie von Gasmassendurchflussmessern, die einen µF-Sensor (Micro Flow) als Sensorelement verwenden. Der µF-Sensor ist ein thermischer MEMS-Massendurchflusssensor, der extrem niedrige Durchflussraten messen kann. Durch die Integration des µF-Sensors und der fortschrittlichen Kanaldesign-Technologie wurden eine hohe Genauigkeit und ein großer Messbereich bei niedrigen Kosten erreicht. Zu den Merkmalen des CMS-Gasmassendurchflusssensors gehören: - Der Mikro-Durchflusssensor bietet eine hohe Genauigkeit von ±3% RD (Standardmodell) - Hohe Auflösung von 0,1 L/min Die Funktionen umfassen: - Anzeige der Durchflussrate/integrierte Durchflussrate - Analog-Ausgang, - Ereignisausgang - Skalierung des Analogausgangs - Mikro-Durchflusssensor eliminiert die Notwendigkeit einer geraden Rohrleitung vor dem Zähler - Bis zu fünf CMS-Einheiten können an ein einziges dediziertes CMW100A Mehrkanal-Anzeigegerät angeschlossen werden Andere Anwendungen: - Luft - Stickstoff - Sauerstoff - Argon - Wasserstoff - Helium - Kohlendioxid - Propan - Butan und mehr..