El CMS es una serie de caudalímetros másicos de gas muy fiable y versátil que utiliza un sensor µF (Micro Flow) como elemento sensor. El sensor µF es un sensor de caudal másico térmico MEMS capaz de medir caudales ultrabajos. La integración del sensor µF y la avanzada tecnología de diseño de canales ha logrado una gran precisión y un alto rango de medición a un bajo coste.
Las características del sensor de flujo másico de gas CMS incluyen:
- Micro sensor de flujo que ofrece una alta precisión de ±3% RD (modelo estándar)
- Alta resolución de 0,1 L/min
Las funciones incluyen:
- indicación de caudal/caudal integrado
- salida analógica
- salida de eventos
- escala de salida analógica
- El microsensor de caudal elimina la necesidad de tuberías rectas aguas arriba del contador
- Se pueden conectar hasta cinco unidades CMS a un único indicador multicanal CMW100A dedicado
Otras aplicaciones:
- aire
- nitrógeno
- oxígeno
- argón
- hidrógeno
- helio
- dióxido de carbono
- propano
- butano y más..
---