Capteur de débit massique CMS

à gazpar débit massique thermiqueMEMS

Le CMS est une série de débitmètres massiques de gaz très fiables et polyvalents qui utilisent un capteur µF (Micro Flow) comme élément sensible. Le capteur µF est un capteur de débit massique thermique MEMS capable de mesurer des débits ultra-faibles. L'intégration du capteur µF et de la technologie avancée de conception des canaux a permis d'obtenir une grande précision et une grande capacité de mesure à un faible coût. Les caractéristiques du capteur de débit massique de gaz CMS sont les suivantes : - Le micro-capteur de débit offre une grande précision de ±3% RD (modèle standard) - Haute résolution de 0,1 L/min Les fonctions comprennent : - indication du débit/du débit intégré - sortie analogique - sortie d'événement - mise à l'échelle de la sortie analogique - Le micro-capteur de débit élimine la nécessité d'une tuyauterie droite en amont du compteur - Jusqu'à cinq unités CMS peuvent être connectées à un seul indicateur multicanal CMW100A dédié Autres applications : - air - azote - oxygène - argon - hydrogène - hélium - dioxyde de carbone - propane - butane et plus encore..