質量流量センサー CMS

ガス温度質量流量MEMS

CMSは、μF（マイクロフロー）センサーをセンシングエレメントとして使用した、高信頼性で汎用性の高いガスマスフローメーターシリーズです。μFセンサーは、超微少流量の計測が可能なMEMS熱式マスフローセンサーです。μFセンサーと高度な流路設計技術の融合により、低コストで高精度、高レンジアビリティを実現しました。 CMSガスマスフローセンサの特徴は以下の通りです： - マイクロフローセンサは±3% RDの高精度を提供（標準モデル） - 0.1 L/minの高分解能 機能 - 流量/積算流量表示 - アナログ出力 - イベント出力 - アナログ出力スケーリング - マイクロフローセンサーによりメーター上流への直管配管が不要 - 1台の専用CMW100Aマルチチャンネル指示計に最大5台のCMSユニットを接続可能 その他のアプリケーション - 空気 - 窒素 - 酸素 - アルゴン - 水素 - ヘリウム - 二酸化炭素 - プロパン - ブタン など