Sensor de fluxo de massa CMS

a gáspor fluxo de massa térmicaMEMS

O CMS é uma série de caudalímetros mássicos de gás altamente fiável e versátil que utiliza um sensor µF (Micro Flow) como elemento sensor. O sensor µF é um sensor de caudal mássico térmico MEMS capaz de medir caudais ultra baixos. A integração do sensor µF e da tecnologia avançada de conceção do canal permitiu obter uma elevada exatidão e um elevado alcance a baixo custo. As caraterísticas do sensor de caudal mássico de gás CMS incluem: - O micro-sensor de caudal oferece uma elevada exatidão de ±3% RD (modelo padrão) - Alta resolução de 0,1 L/min As funções incluem: - indicação do caudal/caudal integrado - saída analógica - saída de eventos - escala de saída analógica - O micro-sensor de caudal elimina a necessidade de tubagem de passagem direta a montante do contador - Podem ser ligadas até cinco unidades CMS a um único indicador multicanal CMW100A dedicado Outras aplicações: - ar - azoto - oxigénio - árgon - hidrogénio - hélio - dióxido de carbono - propano - butano e mais..